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    四川九天中創自動化設備有限公司

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    晶圓裂片機

    所屬分類:

    產品描述

    本設備采用高精準的平臺移動和定制劈裂系統,對激光劃片后的晶圓施加外力,進行高精度、高效率裂片。

    【應用領域】

    • 針對硅晶圓、碳化硅晶圓、LED藍寶石晶圓等泛半導體晶圓進行高精度、高效率裂片。

    【設備優勢】
    • 廣角輪廓相機進行輪廓識別,上料無需區分全、破片、殘片,可擊錘損壞自動檢測,劈刀磨損自動檢測;

    【生產效率】

    • ≥2400片/月4寸晶圓,兼容2、4、6、8寸晶圓裂片;

    切割前后晶圓對比圖

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